特許
J-GLOBAL ID：200903091276867874

板状物の保持面の加工方法

発明者：
大野 勝利

大野 勝利 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 佐々木 功 ,  川村 恭子 ,  久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-049810
公開番号（公開出願番号）：特開2009-202323
出願日： 2008年02月29日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：
【課題】保持手段に保持された板状物に切削ブレードを切り込ませて切削を行う切削装置において、板状物を保持する保持手段の保持面が加工送り方向と平行でない場合においても、その保持面に保持された被加工物に均一な深さの切削溝を形成できるようにする。【解決手段】ブレード支持部に支持された切削ブレードを有する切削手段と板状物を保持する保持手段とが加工送り方向に相対移動し、保持手段2の保持面23に保持された板状物に所定深さの切削溝を形成する切削装置において、切削溝を形成する前に、切削ブレードに代えて平面研削砥石8をブレード支持部31に装着し、保持手段2と切削手段3とを相対的に加工送りすると共に所定の高さに位置し回転する平面研削砥石8の研削面80を保持面23に接触させて保持面23を研削し、加工送り方向と保持面23とを平行にする。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
板状物を保持する保持面を有する保持手段と、該保持手段に保持された板状物を切削する切削ブレードと該切削ブレードを着脱自在に支持するブレード支持部とを有する切削手段と、該保持手段と該切削手段とをX軸方向に相対移動させて加工送りするX軸送り手段と、該保持手段と該切削手段とをY軸方向に相対移動させて割り出し送りするY軸送り手段と、該保持手段と該切削手段とをZ軸方向に相対移動させて切り込み送りするZ軸送り手段とを少なくとも備えた切削装置における板状物の保持面の加工方法であって、 該切削手段のブレード支持部に平面研削砥石を装着する平面研削砥石装着工程と、 該Z軸送り手段によって該保持手段と該研削手段とを相対的にZ軸方向に切り込み送りして該保持手段の保持面に該平面研削砥石の研削面が接触するように該平面研削砥石を位置合わせする平面研削砥石位置合わせ工程と、 該X軸送り手段によって該保持手段と該切削手段とを相対的にX軸方向に加工送りして該平面研削砥石の研削面で該保持手段の保持面を研削する保持面研削工程と、 該Y軸送り手段によって該保持手段と該切削手段とを該平面研削砥石の研削面の幅を超えない範囲で相対的にY軸方向に割り出し送りする割り出し送り工程とを含み、 該保持面研削工程と該割り出し送り工程とを繰り返し実施して該保持手段の保持面の全面を研削する板状物の保持面の加工方法。
IPC (2件)：
B24B 41/06 ,  H01L 21/301
FI (2件)：
B24B41/06 L ,  H01L21/78 F
Fターム (4件)：
3C034AA19 ,  3C034BB73 ,  3C034DD10 ,  3C034DD20
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 切削装置の運転方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-164415   出願人：株式会社ディスコ
審査官引用 (4件)
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