特許
J-GLOBAL ID：200903091279519958
ハンドリング装置及び搬送装置並びにハンドリング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-088813
公開番号（公開出願番号）：特開2003-285289
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月07日
要約：
【要約】【課題】 ハンドリング対象物を迅速にハンドリングし、さらにアンロード時においての位置決め精度の向上を図る。【解決手段】 面状の絶縁部材11と、絶縁部材11内部に設けられた電極部12A,12Bと、電極部12A,12Bに電圧を印加する電圧制御器13とを備え、電圧制御器13によって電極部12A,12Bに電圧を印加したときに生じる静電気力を利用して、絶縁部材11の下方に置かれたハンドリング対象物17を吸着するハンドリング装置であって、絶縁部材11は、可撓性を有し中央部が撓んだ状態で両端部が支持装置14A,14Bで支持され、かつ底面に凹凸15が形成されて底部表面の面粗さが粗くなっている。
請求項（抜粋）：
面状のチャック本体と、該チャック本体内部に設けられた電極部と、前記電極部に電圧を印加する電圧制御部とを備え、前記電圧制御部によって前記電極部に電圧を印加したときに生じる静電気力を利用して、前記チャック本体の下方に置かれたハンドリング対象物を吸着するハンドリング装置であって、前記チャック本体は可撓性を有し中央部が撓んだ状態で両端部が支持され、かつ底面の面粗さが粗く形成されていることを特徴とするハンドリング装置。
Fターム (6件)：
3C007DS01
, 3C007FS10
, 3C007FT07
, 3C007FT08
, 3C007FU00
, 3C007NS10
