特許
J-GLOBAL ID：200903091280854779
硬質炭素膜被覆用治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-190544
公開番号（公開出願番号）：特開平6-033243
出願日： 1992年07月17日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 プラズマを均一に発生させ、密着性良く硬質炭素膜を被覆するための硬質炭素膜被覆治具を得る。【構成】 複数の枠棒3で複数の被覆部材2を囲んだ枠部と、各被覆部材間と、各枠棒間と、被覆部材と枠棒の間の導通がとれる構成にした支持棒受け4、底部8と、枠部の端部に設けられたリング部1とを有する。
請求項（抜粋）：
マイクロ波プラズマCVD法によりダイヤモンド構造を有し、炭素を主成分とする膜を被覆する際、マイクロ波放電より得られたプラズマ中に複数の被覆部材を設置する硬質炭素膜被覆用治具において、(イ)複数の金属製の枠棒で被覆部材を囲んだ枠部と、(ロ)各被覆部材間と、各枠棒間と、前記被覆部材と枠棒間とで互いに導通がとれる構成にした底部と、(ハ)前記枠部の端部に設けられ、前記被覆部材及び枠棒を支持する絶縁性のリング状部材と、を有することを特徴とする硬質炭素膜被覆用治具。
IPC (3件)：
C23C 16/44
, C23C 16/26
, C23C 16/50
