特許

J-GLOBAL ID：200903091284022247

針状金属酸化物構造体及びその製造方法

発明者： 斎藤 秀俊 ,  上野 哲生 ,  今井 進
出願人/特許権者： 旭化成ケミカルズ株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-290649
公開番号（公開出願番号）：特開2004-127730
出願日： 2002年10月03日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】電子放出用の冷陰極素子に適した、導電性基板と該基板表面より伸びる針状金属酸化物とを有する構造体を提供する。【解決手段】10-3Ω・cm以下である導電性基板上に針状金属酸化物が伸びており、該基板平行な任意の10μm×10μmの範囲内において、該針状金属酸化物の長さの平均値が0.5〜10μmであり、該平均値の5倍を超える長さの金属酸化物の数が10%未満である構造体。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

基板と該基板表面に直交する方向に伸びる複数の針状金属酸化物とを少なくとも有する構造体であって、該構造体の基板に平行な任意の10μm×10μmの範囲を走査型電子顕微鏡で観察した時、当該範囲内で観察される針状金属酸化物の長さの数平均値が0.5μm〜10μmの範囲にあり、該数平均値の5倍を超える長さの針状金属酸化物の数が、当該範囲内で観察される針状金属酸化物の数の10%未満であることを特徴とする針状金属酸化物構造体。

IPC (2件)：

H01J1/304 ,  H01J9/02

FI (2件)：

H01J1/30 F ,  H01J9/02 B

Fターム (31件)：

4K030AA11 ,  4K030AA18 ,  4K030BA01 ,  4K030BA22 ,  4K030BA42 ,  4K030BA43 ,  4K030BA44 ,  4K030BA45 ,  4K030BA46 ,  4K030BA47 ,  4K030BB01 ,  4K030FA10 ,  5C127AA01 ,  5C127AA20 ,  5C127BA05 ,  5C127BA09 ,  5C127BA14 ,  5C127BB18 ,  5C127CC03 ,  5C127DD08 ,  5C127DD38 ,  5C127DD99 ,  5C127EE04 ,  5C127EE15 ,  5C127EE20 ,  5C135AA05 ,  5C135AA14 ,  5C135AB18 ,  5C135AC03 ,  5C135HH01 ,  5C135HH20