特許

J-GLOBAL ID：200903091295924137

半導体装置の製造方法

発明者： 西岡 奈保
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-220590
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043411
出願日： 2000年07月21日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：

【要約】【課題】 ドライエッチング等の簡便な工程で、トレンチエッジへの応力・電界集中を緩和したトレンチ分離構造を有する半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】 トレンチ分離構造を備えた半導体装置の製造方法は、半導体基板101にマスク膜102、103、104をパターン形成し、マスク膜を用いて基板をエッチングしてトレンチ105を形成し、トレンチに絶縁膜106を堆積させるステップとスパッタエッチングにより該絶縁膜をエッチングするステップとを繰り返してトレンチを絶縁膜で埋設し、マスクを除去し、トレンチを埋設した絶縁膜の所定量を除去して半導体装置を製造するものであって、トレンチを絶縁膜で埋設するステップにおけるスパッタエッチングで基板表面とトレンチの内壁面との間のエッジ部を基板表面に対して傾斜面となす。

請求項（抜粋）：

半導体基板にマスク膜をパターン形成するステップと、前記マスク膜を用いて前記半導体基板にエッチングを行ってトレンチを形成するステップと、前記トレンチに絶縁膜を堆積させるステップと、スパッタエッチングにより該絶縁膜をエッチングするステップとを繰り返して行なって前記トレンチを絶縁膜で埋設するステップと、前記マスク膜を除去するステップと、前記トレンチを埋設した前記絶縁膜の所定量をエッチングして除去するステップとからなり、前記トレンチを絶縁膜で埋設するステップにおける前記スパッタエッチングにおいて、前記基板表面と前記トレンチの内壁面との間のエッジ部を前記基板表面に対して傾斜面となすことを特徴とするトレンチ分離構造を備えた半導体装置の製造方法。

IPC (9件)：

H01L 21/76 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 27/08 331 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 27/115 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792

FI (7件)：

H01L 27/08 331 A ,  H01L 21/76 L ,  H01L 21/302 L ,  H01L 27/10 434 ,  H01L 27/10 681 D ,  H01L 27/10 681 F ,  H01L 29/78 371

Fターム (80件)：

5F001AA25 ,  5F001AA31 ,  5F001AB02 ,  5F001AD44 ,  5F001AD60 ,  5F001AE02 ,  5F001AE03 ,  5F001AE08 ,  5F001AF07 ,  5F001AG12 ,  5F001AG21 ,  5F001AG29 ,  5F001AG30 ,  5F001AG40 ,  5F004AA11 ,  5F004BD04 ,  5F004CA02 ,  5F004DA00 ,  5F004DA16 ,  5F004DB03 ,  5F004DB07 ,  5F004EA08 ,  5F004EA13 ,  5F004EA37 ,  5F004EA40 ,  5F004EB04 ,  5F032AA36 ,  5F032AA44 ,  5F032AA46 ,  5F032AA70 ,  5F032AA77 ,  5F032AA79 ,  5F032BA01 ,  5F032CA03 ,  5F032CA11 ,  5F032CA17 ,  5F032CA24 ,  5F032DA03 ,  5F032DA04 ,  5F032DA25 ,  5F032DA28 ,  5F048AA04 ,  5F048AA05 ,  5F048AA07 ,  5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC01 ,  5F048AC03 ,  5F048BB06 ,  5F048BE10 ,  5F048BF02 ,  5F048BF15 ,  5F048BF16 ,  5F048BG14 ,  5F083EP02 ,  5F083EP27 ,  5F083EP55 ,  5F083ER03 ,  5F083ER09 ,  5F083ER14 ,  5F083ER19 ,  5F083ER21 ,  5F083ER30 ,  5F083GA19 ,  5F083GA21 ,  5F083GA24 ,  5F083JA04 ,  5F083JA19 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083NA01 ,  5F083NA06 ,  5F083PR05 ,  5F083PR33 ,  5F083PR36 ,  5F083PR42 ,  5F083PR52 ,  5F083ZA05 ,  5F083ZA07 ,  5F083ZA08