特許
J-GLOBAL ID：200903091311171748
圧電振動子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-207652
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066654
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 特性及び安定性に優れた圧電振動子を従来より安価に実現する。【構成】 圧電素子の振動の節に沿って、巾bの開口部を設けて有機レジスト7を厚さtでスクリーン印刷する。開口部には、溶射で被膜3を、tよりも小さい厚さhで形成する。この被膜3を圧電素子の保持部とする。【効果】 有機レジスト膜7には溶射膜が付着しにくく、従って、図2(b)に示すように上下面の巾がほぼ同一な良好な矩形形状の溶射膜3が形成できる。この溶射膜3の上面を固定面として用いることにより、圧電振動子を良好に保持でき、圧電振動子の特性の安定性を向上できる。
請求項（抜粋）：
駆動用の電極を対抗する2つの表面に設けられた圧電基板のノード点の近傍であって前記圧電基板の電極が設けられる表面あるいは前記の電極表面に、所要のパターン開口部を有するレジスト皮膜を形成し、さらに前記開口部に導電性材料を所要の厚さまで溶射した後、前記レジストを剥離し、導電性の溶射皮膜突起部を形成することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
IPC (4件)：
H03H 3/02
, H03H 9/05
, H03H 9/13
, H03H 9/17
