特許
J-GLOBAL ID：200903091317367644
単結晶引き上げ用黒鉛部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-275107
公開番号（公開出願番号）：特開平8-059387
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：
【要約】【構成】 黒鉛ルツボ11底部中央部に突起部13が形成され、突起部13の周囲には空間部15が形成され、黒鉛ルツボ11底面と黒鉛受け台上面14bとが突起部13において接触している単結晶引き上げ用黒鉛部品。【効果】 突起部13により黒鉛ルツボ11底部中央を支持することができ、黒鉛ルツボ11底部に膨張力が掛かるのを防止することができるため、黒鉛ルツボ11底部に破損が生じるのを防止することができる。また突起部13の周囲に空間部15が確保されているため、空間部15の断熱効果により溶融液の温度を均一に保つことができ、引き上げられる単結晶の品質を維持することができる。
請求項（抜粋）：
黒鉛ルツボと黒鉛受け台とを含んで構成された単結晶引き上げ用黒鉛部品であって、前記黒鉛ルツボ底部及び/または前記黒鉛受け台中央部に突起部が形成され、該突起部の周囲には空間部が形成され、前記黒鉛ルツボ底面と前記黒鉛受け台上面とが前記突起部において接触していることを特徴とする単結晶引き上げ用黒鉛部品。
IPC (2件)：
引用特許：
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