特許
J-GLOBAL ID：200903091324660640
巻き取り式蒸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-060492
公開番号（公開出願番号）：特開平8-260144
出願日： 1995年03月20日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：
【要約】【目的】帯電による蒸着膜の劣化が少なく、長時間の連続作業を可能にする巻き取り式の蒸着装置の提供。【構成】電子ビームにより加熱された蒸着源の蒸着材料を用いて連続的に蒸着膜を形成する巻き取り式蒸着装置において、前記電子ビームがこの蒸着材料に入射して反射、散乱する位置に少なくとも導電性プレートと、その導電性プレートを駆動する駆動手段とを有する反射または二次電子トラップ部を具備することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
電子ビームにより加熱された蒸着源の蒸着材料を用いて連続的に蒸着膜を形成する巻き取り式蒸着装置において、前記電子ビームが該蒸着材料に入射して反射、散乱する位置に少なくとも導電性プレートと、その導電性プレートを駆動する駆動手段とを有する反射または二次電子トラップ部を具備することを特徴とする巻き取り式蒸着装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/56 A
, C23C 14/30 Z
