特許
J-GLOBAL ID：200903091325010267
圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-220139
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062278
出願日： 1996年08月21日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【解決手段】 圧電材26を備えた振動子20と、この振動子20を片持ち支持状態で収納するケース16と、このケース16に開けた圧力取入れ口17と、振動子20の振動を制御する制御回路40とから構成する。【効果】 振動子に交流電圧を印加して振動させ、振動子の共振周波数を測定することにより、振動子を囲む気体の圧力を測定することで、微小圧力から比較的高圧まで広範囲にわたり、ひとつの圧力センサで測定することができる。
請求項（抜粋）：
圧電材を備えた振動子と、この振動子を片持ち支持状態で収納するケースと、このケースに開けた圧力取入れ口と、前記振動子の振動を制御する制御回路とからなり、前記振動子に交流電圧を印加して振動させ、振動子の共振周波数を測定することにより、振動子を囲む気体の圧力を測定することを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 9/00 C
, G01L 1/10 A
