特許
J-GLOBAL ID：200903091325075504
電子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-305951
公開番号（公開出願番号）：特開平11-144655
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 試料に与える電子線損傷を最低限に抑制し、常に電子銃室の真空度を高真空に保持する。【解決手段】 電界放出型電子銃の引出電極3に印加する電圧を制御して陰極2からの電子の電界放出を抑制することで、電界放出型電子銃に対して一種の電気的シャッターを実現する。この電気的シャッターの制御を、試料の電子線像の撮影、電子銃室と光学系10,12の間を仕切る真空バルブ7の開閉、電子銃室の真空度を計測する真空計19の出力、試料ステージ11の動き等とリンクさせる。
請求項（抜粋）：
陰極と前記陰極から電子を電界放出させるための電極とを含む電子銃と、前記電子銃から放出された電子線を収束して試料に照射するためのレンズ系とを備える電子線装置において、前記電極に印加する電圧を制御する制御部を備え、前記電極に印加する電圧の変更によって前記電子銃からの電子線放出をオン、オフ制御する機能を有することを特徴とする電子線装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/04 A
, H01J 37/06 A
