特許
J-GLOBAL ID：200903091341281173
流量センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-151119
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329480
出願日： 1996年06月12日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 検出感度が高く、信頼性の高い流量センサを得る。【解決手段】 流体が流過する基板1と、基板1の上流側端部に設けられ基板1の厚み方向に貫通した切欠部8と、切欠部8に引き渡された薄膜10と、基板1に設けた流体温度検出素子3と、薄膜10に設けた発熱素子とを備えている。
請求項（抜粋）：
流体が通過する基板、この基板の上流側端部に設け上記基板の厚み方向に開口部を有する切欠部、この切欠部の上記開口部と反対側に設けた薄膜、上記基板に設け流体の温度を測定する流体温度検出素子、および上記薄膜に設け上記流体温度検出素子により測定した流体の温度より高い設定温度を有する発熱素子を備え、流体への熱伝達の程度から流体の流量を測定する流量センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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