特許

J-GLOBAL ID：200903091344308439

水溶性感光性組成物

発明者： 谷口 昇次 ,  北谷 雅俊
出願人/特許権者： 上野化学工業株式会社
代理人 (1件)： 森岡 博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-175680
公開番号（公開出願番号）：特開平10-003167
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】 水を用いて現像が可能であり、重クロム酸塩を含まず、感光性に優れ、かつ解像度が高く、耐蝕性に優れたレジスト、あるいは剥離時に容易に剥離することができる水溶性感光性組成物を得る。【解決手段】 ビニルアルコール系重合体成分に(メタ)アクリル酸グリシジルを付加した(メタ)アクリル酸構造単位を導入する。

請求項（抜粋）：

ビニルアルコール系重合体成分、及び下式(I)【化1】(式中、R1及びR2は各々別個に水素又はメチル基を示す)で表される構造単位を含むブロック共重合体、並びに感光剤を配合してなる水溶性感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 501 ,  C08L 53/00 LLW ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/038 501 ,  C08L 53/00 LLW ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R