特許
J-GLOBAL ID：200903091359020393
超臨界付近および超臨界の流体溶液の溶射を用いた化学蒸着および粉体形成
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-508559
公開番号（公開出願番号）：特表平11-510855
出願日： 1996年08月02日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：
【要約】試薬を含有する液体(T)または液状流体(T)の超臨界温度近傍での超微細噴霧または気化を用いた化学蒸着方法であって、得られた噴霧化または気化溶液(N)がフレームまたはプラズマトーチ(170)中に入れられることにより、粉体が形成されあるいは基材上にコーティング(190)が蒸着される。燃焼フレーム(170)は、10torrから数気圧の間で安定であり得、流体(T)中に含有される試薬が反応して所望の粉末まはた基材上のコーティング材料(190)を形成することができるようなエネルギー環境を提供する。プラズマトーチも同様に必要なエネルギー環境を生成するが、フレームと異なり、酸化剤(oxidizer)が不要であり、非常に低い酸素分圧下のみで安定な材料を形成することができる。プラズマトーチまたは燃焼フレーム(170)を用いることにより、反応チャンバの必要なしに開雰囲気(open atmosphere)において、コーティングを蒸着あるいは粉体を形成することができるが、環境からのプロセスの分離や圧力調節を含む様々な理由からチャンバを用いてもよい。
請求項（抜粋）：
基材を選択された材料でコートする方法であって、 a)第1の選択された温度および第1の選択された圧力において、輸送溶液を形成するために、反応して該選択された材料を形成することのできる1つ以上の試薬を適切なキャリヤ中に溶解させる工程と、 b)第2の選択された圧力を有する領域に基材を位置させる工程と、 c)該輸送溶液を、圧力調節手段を用いて該第2の選択された圧力を越える第3の選択された圧力まで加圧する工程と、 d)加圧された該輸送溶液を、入力端および対向する出力端を有する流体導路(fluid conduit)に導く(direct)工程であって、該出力端は、該導路中の該流体を該領域中および該基材の方向に導くように方向付けられた(oriented)流出ポート(outlet port)を更に有する工程と、 e)該溶液を該溶液の臨界温度Tcの約50°C下から該溶液のTcの間の第2の選択された温度に維持し、該第3の圧力を、該圧力調節手段を用いて、該第2の選択された圧力より上でありかつ該第2の選択された温度における該溶液の対応する液相線または臨界圧力Pcより上に維持する工程と、 f)加圧された該溶液を該導路の該流出ポートを通って該領域中に導くことにより、噴霧溶液スプレー(nebulized solution spray)を該基材の方向に生成する工程と、 g)1つ以上の選択されたガスを該噴霧溶液スプレー中に混和することにより反応可能なスプレーを形成する工程と、 h)該反応可能なスプレーを、選択されたエネルギー供給ポイント(energization point)においてエネルギー源に曝露することにより、該エネルギー源が該反応可能なスプレーを反応させて該材料を形成し該基材を該材料でコートするために十分なエネルギーを提供する工程と、 を包含する方法。
IPC (3件)：
C23C 16/44
, B05D 1/02
, H05H 1/24
C23C 16/44 R
, B05D 1/02 Z
, H05H 1/24
