表面観察方法及び記録再生方法、並びに、走査型プローブ顕微鏡及び記録再生装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-218501
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036139
出願日： 1998年07月16日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】本発明は、試料の観察や、記録媒体への情報記録を行うに際して、試料や記録媒体の凹凸が激しい領域や欠陥のある領域の走査を回避し、観察や記録を行う範囲に容易に探針を移動することができ、探針を試料や記録媒体に高速に接近させることができて、高速走査が可能な表面観察方法及び記録再生方法、並びに、走査型プローブ顕微鏡及び記録再生装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明の表面観察方法及び記録再生方法、並びに、走査型プローブ顕微鏡及び記録再生装置は、まず第一の試料または記録媒体表面走査によって試料または記録媒体表面のおおまかな凹凸を検出し、この第一の試料または記録媒体表面走査の結果を参照して観察範囲または記録再生範囲を指定し、第二の試料または記録媒体表面走査において、前記指定された観察範囲を走査し、前記探針と前記試料または記録媒体との物理相互作用を検出して、前記試料または記録媒体表面の詳細な情報を得ることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

試料表面に対し探針を相対的に走査し、前記試料表面の観察をする表面観察方法において、前記探針と前記試料との物理相互作用を検出し、試料表面のおおまかな凹凸を検出する第一の試料表面走査の手順と、前記第一の試料表面走査の結果を参照して観察範囲を指定する手順と、前記指定された観察範囲を走査することによって、前記探針と前記試料との物理相互作用を検出し、前記試料表面の詳細な情報を得る第二の試料表面走査の手順と、に基づいて前記試料表面の観察を行うことを特徴とする表面観察方法。

IPC (3件)：

G11B 9/00 , G01B 21/30 , G01N 37/00

FI (3件)：

G11B 9/00 , G01B 21/30 Z , G01N 37/00 A

Fターム (19件)：

2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069DD15 , 2F069DD25 , 2F069GG01 , 2F069GG07 , 2F069GG52 , 2F069GG56 , 2F069GG62 , 2F069JJ04 , 2F069LL03 , 2F069MM04 , 2F069MM11 , 2F069MM23 , 2F069MM32 , 2F069NN02 , 2F069NN08 , 2F069PP02 , 2F069QQ05

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