導波形光デバイス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-263755
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122722
出願日： 1994年10月27日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】追加電極構造によってマイクロ波損失を減らし、さらに、特性インピーダンスを一定に保つ(または低下させない)導波形光デバイス(高速光変調器)を提供する。【構成】電気光学効果を有する結晶基板1の上に形成された少なくとも1つの光導波路2,3,4、その上に形成されたバッファ層5、その上に形成された下側CPW電極構造6,7、その上に形成された中間CPW電極構造8,9、中間信号電極8上に形成された追加中間信号電極10を持つ導波形光デバイス。

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する結晶基板の上に形成された少なくとも一つの導波路と、導波路の上に形成されたバッファ層(1.1〜40の誘電率を有する)と、バッファ層の上に形成された、2段(下側および中間構造)の3個の電極組とを備え、前記電極組は、信号電極および信号電極を取囲む2個の接地電極(CPW電極構造)と、中間信号電極の寸法と同じ信号の追加中間信号電極とを有する、ことを特徴とする導波形光デバイス。

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