特許
J-GLOBAL ID：200903091365466220
ダイヤモンド状硬質カーボンフィルムが二重コーティングされたVTRヘッドドラムとそのコーティング層の形成方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津国 肇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-185474
公開番号（公開出願番号）：特開平8-063840
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【課題】 ヘッドドラムとテープとの間の摩擦を最小化し、ドラムの耐磨耗性と潤滑性を向上させると共にテープを保護することができるVTRヘッドドラムを提供する。また、別度の操作なしでヘッドドラムのようなシリンダ型の円形基板にコーティング層を均一に形成することができ、大量生産に適する合成装置を提供する。【解決手段】 高硬度ダイヤモンド状硬質カーボンフィルムの第1コーティング層43上に低硬度のダイヤモンド状硬質カーボンフィルムの第2コーティング層44を形成して、互いに異なる特性の二重膜をコーティングしたヘッドドラムに関するものである。第2コーティング層の硬度は第1コーティング層の硬度より小さい。前記二重コーティングはヘッドドラムが積層され、電源電極1に付着する試片支持台2と、積層したヘッドドラムの表面から所定の距離程離れている同心円上に配置された円形の接地電極3を含む反応器を有する合成装置により達成され、前記試片支持台はヘッドドラムを安定に積層するための空間補償用リングを含んでいる。
請求項（抜粋）：
ヘッドドラムと、このヘッドドラムの表面上に形成されたヘッドドラム保護用コーティング層と、前記ヘッドドラム保護用コーティング層上に形成され、前記ヘッドドラム保護用コーティング層の硬度より低い硬度を有する低硬度のテープ保護用コーティング層とを含むことを特徴とする互いに異なる特性のフィルムで二重コーティングされたVTRヘッドドラム。
IPC (3件)：
G11B 15/61
, C23C 16/26
, C23C 16/50
