特許

J-GLOBAL ID：200903091376318924

プリント配線基板検査装置

発明者： 佐藤 威
出願人/特許権者： ペンタックス株式会社
代理人 (2件)： 松浦 孝 ,  小倉 洋樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-082755
公開番号（公開出願番号）：特開2005-265789
出願日： 2004年03月22日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】 プリント配線基板の検査性能を向上する。【解決手段】 プリント配線基板30を直交する2方向に移動可能に支持する。光源部21から出射されるテラヘルツ光を配光光学系22を介してプリント配線基板30に照射する。プリント配線基板30を透過したテラヘルツ光を、透過光撮像ユニット40において対物レンズ、電気光学結晶、面光源、一対の偏光子を介して可視化し、結像レンズによりCCDに結像させる。透過光撮像ユニット40のCCDにより光電変換された画像信号に画像処理ユニット14で所定の画像処理を施し、TVモニタ50へ出力する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

テラヘルツ光を出射する光源ユニットと、 可視光に感度を有する第1の撮像素子と、 前記光源ユニットから出射され検査対象であるプリント配線基板を透過するテラヘルツ光を、前記第1の撮像素子を介して視認可能にするための第1の光学的変換手段とを備えることを特徴とするプリント配線基板検査装置。

IPC (4件)：

G01N21/954 ,  G01B11/30 ,  H05K3/00 ,  H05K3/46

FI (4件)：

G01N21/954 B ,  G01B11/30 A ,  H05K3/00 Q ,  H05K3/46 W

Fターム (33件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF41 ,  2F065GG01 ,  2F065GG08 ,  2F065GG15 ,  2F065GG21 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL33 ,  2F065PP12 ,  2G051AA65 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA06 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  5E346BB01 ,  5E346GG32 ,  5E346GG34 ,  5E346HH31

引用特許：

出願人引用 (1件)

• プリント基板の検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-291824   出願人：富士通株式会社