特許

J-GLOBAL ID：200903091378060541

電圧測定装置

発明者： 大窪 和生 ,  尾崎 一幸
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-232124
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082535
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【目的】 本発明は微細な配線幅の電気配線上の電圧波形を観測する電圧測定装置に関し、微細配線に印加される電圧の時間変化を安定かつ確実に測定することを目的とする。【構成】 バイアス電圧が印加され、LSIチップ17aからのトンネル電流を検出するSTM探針16aをLSIチップ17a上に近接して設けると共に、LSIチップ17a上に励起パルス発生器14よりトリガ信号より移相量φの励起パルスビームを照射する。そして、制御部19により移相量及びバイアス電圧を制御してLSIチップ17aの配線における電圧の時間変化を測定する。

請求項（抜粋）：

周期的な電気信号が印加される試料(17,17a)と、該試料(17,17a)の測定部分上に近接して配置されると共に、バイアス電圧が印加され、該試料(17,17a)からのトンネル電流を検出する検出手段(16a)と、前記周期的な電気信号と異なる位相のタイミングで該試料(17,17a)の測定部分にビームを照射し、近傍に電子を励起させるストロボ電子励起手段(12〜14)と、前記位相量及びバイアス電圧を制御して、該試料(17,17a)の測定部分の電圧の時間変化を測定する制御手段(18,19)と、を含むことを特徴とする電圧測定装置。

IPC (4件)：

G01R 31/302 ,  G01R 19/00 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 31/28 L ,  G01R 31/28 R