感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-037867
公開番号（公開出願番号）：特開平9-071637
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】多層プリント配線板の絶縁層の材料で、特に解像度、ガラス転移点が高く、少ない露光量で所望形状のパターン形成が可能であり、また絶縁性、誘電率等の電気特性にも優れ、さらに安価である感光性樹脂組成物及び半導体装置を提供する。【解決手段】絶縁層を構成しているエポキシ基の少なくとも一つ以上がアクリル変性もしくはメタクリル変性したテトラグリシジルジアミノフェニルメタン、光重合性モノマー、光重合開始剤、平均粒径5.0μmから0.1μmの無機フィラー及び有機フィラーの少なくとも一方からなるフィラー、硬化剤及び有機溶剤からなる感光性樹脂組成物であって、前記アクリル変性もしくはメタクリル変性したテトラグリシジルジアミノフェニルメタンは、テトラグリシジルジアミノフェニルメタン1.0化学当量に対し、不飽和一塩基酸を0.3から0.8化学当量の割合で混合し反応させる。

請求項（抜粋）：

絶縁性基材もしくは金属基材の表面上に、絶縁層と配線層とが順次積層された回路基板及び該回路基板の配線導体の始端が半導体集積回路と接続され、終端が外部回路と接続されてなる半導体装置において、前記絶縁層が化合物中のエポキシ基の少なくとも一つ以上がアクリル変性もしくはメタクリル変性したエポキシ樹脂化合物、光重合性モノマー、光重合開始剤、フィラー、硬化剤及び有機溶剤からなる感光性樹脂組成物で形成されており、前記アクリル変性もしくはメタクリル変性したエポキシ樹脂化合物は、アクリル変性もしくはメタクリル変性したテトラグリシジルジアミノフェニルメタンからなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

C08G 59/40 NKE , C08F299/02 MRV , G03F 7/032 501 , H01L 21/768 , H05K 3/46 , C08G 59/17 NHG

FI (6件)：

C08G 59/40 NKE , C08F299/02 MRV , G03F 7/032 501 , H05K 3/46 T , C08G 59/17 NHG , H01L 21/90 S

引用特許：

審査官引用 (3件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-102122 出願人：サンノプコ株式会社
特開平2-223954
特開平2-223954

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