磁気ディスク媒体の表面研磨加工方法および装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠部正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-082397
公開番号（公開出願番号）：特開2001-269850
出願日： 2000年03月23日
公開日（公表日）： 2001年10月02日
要約：

【要約】【課題】研摩テープを常に一定した荷重でディスクの表面に押しつけて精度の高い表面研摩加工が行えるように磁気ディスク媒体の表面研摩加工方法および装置を改良する。【解決手段】スピンドル4aに装着して回転するディスク1の表面に当てがった研磨テープ2を背後から加圧パット3により押圧して研摩加工を行う磁気ディスク媒体の表面研磨加工装置において、加圧パットを撓み性のある支持アーム6の先端に取付け、かつ該支持アームをリニアモータ9に連結したスライドブロック5aに取付けて加圧パットをテープ押圧方向に駆動するようにするとともに、支持アームに歪みゲージ10を取付けて加圧パットの荷重を検出し、この検出値を制御部11に取り込んで加圧パットの押圧荷重を加圧設定値に保つようにリニアモータの出力をフィードバック制御する。

請求項（抜粋）：

回転するディスクの表面に当てがった研磨テープを背後から加圧パットによりディスクに押し付けて加工を行う磁気ディスク媒体の表面研磨加工方法において、前記加圧パットを撓み性のある支持アームの先端に取付け、かつ該支持アームをモータに連結して加圧パットをテープ押圧方向に駆動するとともに、前記支持アームに歪みゲージを取付けて加圧パットの押圧荷重を検出し、該歪みゲージの検出値を基に前記モータの出力をフィードバック制御して加圧パットの押圧荷重を設定値に保持するようにしたことを特徴とする磁気ディスク媒体の表面研磨加工方法。

IPC (3件)：

B24B 21/10 , B24B 21/00 , G11B 5/84

FI (3件)：

B24B 21/10 , B24B 21/00 B , G11B 5/84 A

Fターム (16件)：

3C058AA05 , 3C058AA11 , 3C058AA12 , 3C058AA14 , 3C058AA16 , 3C058AA18 , 3C058AB04 , 3C058AC02 , 3C058BA05 , 3C058BB01 , 3C058BB09 , 3C058CA01 , 3C058CB01 , 5D112AA24 , 5D112GA13 , 5D112GA16

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-156650
特開昭63-156650

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