特許
J-GLOBAL ID：200903091383450056
吸引チャック式基板回転処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-074449
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263325
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 吸引解除時の基板下面の汚染が防止できる吸引チャック式基板回転処理装置を提供する。【構成】 シールハウジング340には、中空回転軸10の下端部に一端部が近接して対向する吸引通路200を形成し、その一端部の開口径を中空回転軸10の下端部の外径より小さくなるように形成してある。さらに、吸引通路200の一端部の水平方向の周囲には、その一端部より下方に底面が位置するようにリング状のトラップ空間100を設けている。このトラップ空間100の天井面は、環状接触部材301 と中空回転軸10との接触部位に向かって先細りに形成されている。吸引時に発生した塵埃は、トラップ空間100に堆積する。吸引解除時の吸引通路200から流入する空気の流れは、トラップ空間100に堆積している塵埃を巻き込むことなく中空回転軸10に流入する。
請求項（抜粋）：
スピンチャックの吸着孔に連通接続された中空回転軸をバキュームシールを介して回動自在に支持し、かつ、吸引手段に連通しているシールハウジングを吸引手段で吸引することにより前記スピンチャックに載置された基板を吸引支持し、この状態で前記中空回転軸を回転駆動しつつ基板に対して所望の処理を行ない、シールハウジングの吸引を吸引解除手段で解除することによって前記基板を開放する吸引チャック式基板回転処理装置において、前記シールハウジングには、前記中空回転軸の下端部に一端部が近接して対向する吸引通路を形成し、かつ、その一端部の開口径を前記中空回転軸の下端部の外径よりも小さく形成し、かつ、その他端部を前記吸引手段と前記吸引解除手段に切り換え可能に連通し、前記吸引通路の一端部の水平方向の周囲には、前記一端部より下方に底面が位置するようにリング状のトラップ空間を設け、かつ、その天井面を前記バキュームシールと前記中空回転軸の周面との接触部位に向って先細りに形成していることを特徴とする吸引チャック式基板回転処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, B23Q 3/08
, G03F 7/16 502
, H01L 21/68
