特許

J-GLOBAL ID：200903091391033952

プリント基板の検査方法および検査装置、ならびにプリント基板の製造方法

発明者： 加藤 知孝 ,  赤木 祐司 ,  岡山 敏之
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-246684
公開番号（公開出願番号）：特開2007-057505
出願日： 2005年08月26日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】 プリント基板の欠陥検査において、発見された欠陥数のみでなく、基板の伸縮率をも考慮してプリント基板が「不良品」かどうかを判別することが可能なプリント基板の検査方法を提供すること。【解決手段】 検査対象プリント基板の伸縮率を測定し、測定の結果得られた伸縮率データを検査対象プリント基板に関連づけて記憶部に記憶し、同一ロットにおける検査対象プリント基板の伸縮率の偏差値に基づいて、この検査対象プリント基板を良品、ベリファイ対象、不良品のいずれかに自動的に区分する。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

プリント基板の伸縮率を測定する工程、 測定の結果得られた伸縮率データを前記プリント基板に関連づけて記憶部に記憶する工程、および 前記プリント基板を当該プリント基板に対応する伸縮率データを用いて良品、ベリファイ対象、不良品のいずれかに自動的に区分する工程とを備えた、プリント基板の検査方法。

IPC (2件)：

G01B 11/16 ,  G01N 21/956

FI (2件)：

G01B11/16 H ,  G01N21/956 B

Fターム (23件)：

2F065AA61 ,  2F065AA65 ,  2F065CC01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065MM07 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ38 ,  2F065RR08 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051AC15 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051DA06 ,  2G051DA08 ,  2G051DA13 ,  2G051EB09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• パターン検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-178631   出願人：ウシオ電機株式会社

審査官引用 (3件)

• 基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-330868   出願人：日東精工株式会社, 株式会社住友金属セラミックス
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-376838   出願人：ペンタックス株式会社
• パターン検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-178631   出願人：ウシオ電機株式会社