特許
J-GLOBAL ID：200903091396048940
位置合わせ装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-103891
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306763
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 オリフラなどの切欠き部が無いウェハ用位置決め装置である。【構成】 本装置は、ウェハWを回転機構102、106により回転し、その回転角度に従って位置決めのための情報をサンプリングしている。すなわち、本装置100は、回転するウェハWの表面または裏面に形成された基準マーク110に光504を照射し、その基準マーク110からの回折光522または散乱光をウェハWの回転に同期して受光している。従って、ウェハの回転角θに従って、基準マーク位置にピークθ1を有する波形信号が得られる。これによってウェハWの回転角度を正確に知ることができる。
請求項（抜粋）：
外周部に位置合わせ用の切欠きの形成されていない基板を位置合わせする装置において、前記基板を載置して回転する回転機構と、前記基板の表面または裏面のいずれかの外周近傍に付された位置合わせ用基準マークと、その基準マークに光を照射する手段と、その基準マークにより発生した回折光又は散乱光を前記回転機構の回転角度に従って受光する手段とを具備したことを特徴とする、位置合わせ装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G01B 11/00
, G05D 3/12
, H01L 21/027
H01L 21/68 F
, G01B 11/00 G
, G05D 3/12 L
, H01L 21/30 520 A
