特許
J-GLOBAL ID：200903091398933010
固定砥粒ワイヤソーの固定砥粒付ワイヤ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161531
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010516
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：
【要約】【課題】目詰まりの起こりにくい固定砥粒付ワイヤの提供。【解決手段】砥粒間に適度な空隙(気孔)12dを形成することができる結合剤12bを用いて砥粒12cをワイヤ12aの表面に固着させる。このように形成された固定砥粒付ワイヤ12によれば、各砥粒間に形成された気孔12dが、切断によって生じた切り屑の逃げを助ける役目をするため、目詰まりが起こりにくくなる。
請求項（抜粋）：
表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列を走行させながら被加工物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記固定砥粒付ワイヤは、砥粒間に気孔を形成することができる結合剤を用いて砥粒をワイヤの表面に固着させたことを特徴とする固定砥粒ワイヤソーの固定砥粒付ワイヤ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 27/06 H
, B28D 5/04 C
