特許
J-GLOBAL ID：200903091405590850
形状評価方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-071836
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288763
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【構成】 被測定物の形状データから第一の仮想曲線を求め、測定値の変動分を算出する。この変動分が許容範囲(2P)を越えた場合に、上記の測定値を得た測定部分を欠陥部と判定する。欠陥部の測定値を除いた残りの形状データから第二の仮想曲線を求め、欠陥部の測定値の変動量を算出する。各仮想曲線は、中心測定値から前後にそれぞれ所定個数置きに、または連続して、複数個の選択測定値を選択し、これら選択測定値および中心測定値から中心測定値に対応する近似値を算出し、この近似値を測定値の全域に渡って算出することにより求める。【効果】 被測定物が備えるべき本来の形状が不明の場合において、欠陥部の位置を検出すると共に、第二の仮想曲線に対する欠陥部の変動量を高精度で算出することができる。よって、例えば被測定物の表面等に形成された微小な凹凸や、あるいは面の歪み、うねり等の種々の形状の良否を評価することが可能となる。
請求項（抜粋）：
被測定物の形状を形状測定器にて測定し、測定値から近似により近似曲線を求めた後、近似値に対する測定値の変動分を算出し、この変動分が所定許容範囲を越えた場合に、上記測定値を得た測定部分を欠陥部と判定する一方、上記欠陥部の測定値を除いた残りの測定値から近似により近似曲線を再度求めた後、近似値に対する欠陥部の測定値の変動量を算出することを特徴とする形状評価方法。
IPC (2件)：
G01B 21/30 102
, G01B 11/24
