特許

J-GLOBAL ID：200903091408854300

光てこ検出機構および走査型プローブ顕微鏡

発明者： 杉崎 克己
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-201292
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044695
出願日： 1997年07月28日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】カンチレバーの撓み測定のダイナミックレンジを拡大する。【解決手段】 カンチレバー7における反射光に、参照平面5で反射される参照光を重畳し、その像を撮像装置9で撮像し、撮像した画像を画像計測装置12により計測し、干渉解析を光干渉信号解析装置14により解析して、カンチレバー7先端の絶対的な位置を求め、かつ、前記画像計測装置12により計測された情報から、カンチレバー7先端の傾きを、カンチレバー撓み・捻れ解析装置13で解析する。

請求項（抜粋）：

カンチレバーの変形を検出するための光てこ検出機構において、カンチレバーの一部にビーム光を照射するためのビーム光源と、前記ビーム光が前記カンチレバーで反射されて形成される像を2次元的に撮像するための撮像装置と、前記撮像装置により撮像された像の重心を求め、求めた重心の移動から前記カンチレバーの撓み方向の変形および捻れ方向の変形を検出するための変形検出手段とを有することを特徴とする光てこ検出機構。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/00 ,  G01B 21/30

FI (3件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 11/00 D ,  G01B 21/30 Z