特許
J-GLOBAL ID:200903091410063027

RWG型半導体レーザー装置及び製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 富田 和子 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-318159
公開番号(公開出願番号):特開平6-237046
出願日: 1993年12月17日
公開日(公表日): 1994年08月23日
要約:
【要約】【構成】 InP基板の上に活性層、光導波路層を有し、その上にクラッディング層とオーム接触層で構成されたリッジの上にこのリッジの上層の幅rと同じ幅を有するp-電極金属ストライプ、幅w(w<r)のオーム接触窓(window)ストライプを有する誘電体物質、p-面ボンディングパッド金属が順次形成された構成を有する。【効果】 オーム接触抵抗を小さくして、リッジの幅を狭くすることができる。このため、熱発生が減り、発振臨界電流が減少される。
請求項(抜粋):
InP基板31の上に、活性層32、光導波路層33を有し、その上にクラッディング層34とオーム接触層35で構成されたリッジの上に、このリッジの上層の幅rと同じ幅を有するp-電極金属ストライプ38、幅w(w<r)のオーム接触窓(window)ストライプを有する誘電体物質39、p-面ボンディングパッド金属40が順次形成された構成を有するRWG型半導体レーザー装置。

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