特許
J-GLOBAL ID：200903091422317598
2次電子検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-027992
公開番号（公開出願番号）：特開平5-225939
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で、低加速電圧下での試料表面の帯電を押さえると共に、検出性能を高めることができる2次電子検出器を実現する。【構成】 試料2から発生した2次電子は、静電レンズ電極16,17,MCP10の前面の電極に所定の正の電圧を印加することによって生じた電場により補集し集束され、MCP10の前面に焦点が結ばされる。この際、試料表面上が静電的に負に帯電するので、この帯電を打ち消すため、静電レンズ電極15に負の電圧が印加される。MCP10に入射した2次電子は、1万倍以上に増倍され、コロナリング8に印加された電圧によってシンチレータ5に向け加速されて入射し、可視域の螢光に変換される。シンチレータ5によって生じた螢光は、ライトガイド6を通ってホトマルチプライヤ7に導かれ光電変換される。
請求項（抜粋）：
電子の入射によって光を発生するシンチレータと、シンチレータの光を光電変換するための光電変換部と、シンチレータへ電子を引き寄せるための所定の電圧が印加される電極と、シンチレータの前面に配置され、試料からの2次電子を増倍するためのマイクロチャンネルプレートとを備えた2次電子検出器。
IPC (2件)：
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