特許

J-GLOBAL ID：200903091423862700

加速度検出装置

発明者： 岡田 和廣
出願人/特許権者： 岡田 和廣
代理人 (1件)： 志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-090640
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280833
出願日： 1994年04月05日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 比較的単純かつ堅牢な構造で、感度の高い検出を行う。【構成】 固定基板60の下方に金属製の変位基板70が、上方に円筒状の重錘体80が、それぞれ配置され、固定基板60の中央の貫通孔に連結棒81が挿通している。連結棒81の上端は固定具83により重錘体80に固定され、下端は円環状のスペーサ71を通して変位基板70に固定されている。重錘体80内には、コイル状のばね82が収容されており、重錘体80を固定基板60から離す方向に力を作用させている。固定基板60の下面には、固定電極61,63が形成されており、共通電極としての変位基板70との間に、容量素子が形成されている。作用点Pに加速度に基づく力Fxが作用すると、重錘体80および変位基板70が変位し、容量素子の容量値が変化する。集積回路68は容量値の変化に基づいて作用した加速度の向きと大きさを求める。

請求項（抜粋）：

貫通孔をもった固定基板と、この固定基板の下方に配置された変位基板と、前記固定基板の上方に配置された重錘体と、前記貫通孔に挿通し、上端が前記重錘体に固定され、下端が前記変位基板に固定された連結棒と、前記重錘体を前記固定基板から離す方向に力を作用させる弾性部材と、前記固定基板と前記変位基板との間に介挿され、前記固定基板と前記変位基板との間隔を、少なくともその厚みに相当する距離だけ保つ機能を果たすスペーサと、を備え、前記重錘体に作用した加速度を、前記変位基板と前記固定基板との間の距離の変化として検出しうるようにしたことを特徴とする加速度検出装置。