特許

J-GLOBAL ID：200903091424373398

気相成長装置

発明者： 中津 弘志 ,  佐々木 和明 ,  山本 修
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-209298
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061146
出願日： 1992年08月05日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 原料ガスを均一に再現よく光励起できる気相成長装置を提供する。【構成】 気相成長装置において、フローチャンネルに設けられた光導入窓を加熱することにより、大面積の基板を用いた場合でも、原料ガスの気流を乱すことがなく、かつ昇華した材料が付着して光導入窓を曇らせることがないため、原料ガスを均一に再現よく光励起できる。

請求項（抜粋）：

励起光を発生する光源と、光源から発生した励起光が、内部に導入されると共に内部に配置された気相成長用基板に向けて照射され、外部が冷却されているリアクタと、該リアクタの内部に設けられ、該基板に励起光が到達するように光導入窓を有し、外部から原料ガスを内部に導入して該基板上を通流させるフローチャンネルと、該光導入窓を加熱する加熱手段と、を備える気相成長装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-067723
  
• 特開昭63-271920
  
• 特開昭62-127469