特許
J-GLOBAL ID：200903091425662865
板状部品収容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-285525
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129718
出願日： 1995年11月02日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】【課題】ウェハの運搬や保管に優れたウェハカセットを提供する。【解決手段】ウェハカセット30の開口部44,46にストッパ50,52,54,56を設け、さらに、側壁32,34にストッパ50,52,54,56を移動させる電磁石80,82,84,86が設け、ウェハの出し入れを制限した。
請求項（抜粋）：
複数枚の板状部品が収容される収容部を有し、該収容部に前記複数枚の板状部品を出し入れするための開口部が形成された板状部品収容器において、前記開口部に配置され、前記複数枚の板状部品の出し入れを許容する第1の位置と前記収容部に収容された複数枚の板状部品を固定する第2の位置との間を移動するストッパと、該ストッパを前記第1の位置と前記第2の位置との間で移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする板状部品収容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
