特許

J-GLOBAL ID：200903091436458798

高分解能顕微鏡

発明者： 市村勉 ,  稲場文男
出願人/特許権者： 新技術事業団 ,  市村 勉
代理人 (1件)： 蛭川 昌信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-334746
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164970
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】【目的】 対物レンズによって定まる分解能より高い分解能を得ることができる高分解能顕微鏡。【構成】 試料S面の観測点近傍に試料面に沿って照明光Lを集光し、照明方向とほぼ直角な方向に回折された光5を結像位置で検出するようにする。なお、このような照明光Lとして、試料S表明での全反射によって発生するエバネッセント波を用いることもできる。

請求項（抜粋）：

対物レンズの分解能より小さい物体を検出する顕微鏡であって、試料面の観測点近傍に試料面に沿って照明光を集光し、照明方向とほぼ直角な方向に回折された光を結像位置で検出するようにしたことを特徴とする高分解能顕微鏡。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭53-085446
  
• 特公昭39-026805