特許
J-GLOBAL ID：200903091438115383
非接触変位または歪計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-174576
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043038
出願日： 1994年07月26日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 高温下での測定等に際して、試料を真空チャンバ等に収容しなくても、雰囲気のゆらぎによる影響を受けることなく非接触のもとに正確に試料の変位または歪みを測定することのできる非接触変位または歪計を提供する。【構成】 被測定試料Wの同一箇所に複数の波長の光を照射する照射光学系1と、その各波長の光の試料Wによる反射光をそれぞれ独立的に検出する光検出手段2を設け、かつ、スペックルパターンの移動量を算出する演算部3は、光検出手段2による各波長の反射光データに基づき、試料W周辺の雰囲気のゆらぎによる影響を除去する補正演算手段を包含した構成とする。
請求項（抜粋）：
被測定試料に光を照射する照射光学系と、その光の被測定試料による反射光を刻々と受光する光検出手段と、その光検出手段の出力を用いてスペックルパターンの移動量を求めるとともに、そのスペックルパターンの移動量から被測定試料の変位まはた歪みを算出する演算部を備えた装置において、上記照射光学系は、被測定試料の同一箇所に複数の波長の光を照射し、上記光検出手段は、その各波長の光の被測定試料による反射光をそれぞれ独立的に検出するとともに、上記演算部は、上記光検出手段による各波長の反射光データに基づき、被測定試料周辺の雰囲気のゆらぎによる影響を除去するゆらぎ補正演算手段を含んでいることを特徴とする非接触変位または歪計。
IPC (2件)：
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