特許

J-GLOBAL ID：200903091442691208

低拡張率エキスパンダおよび拡張フィルムシート固定方法

発明者： 児玉 浩
出願人/特許権者： ヒューグルエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-036476
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243332
出願日： 2002年02月14日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：

【要約】【課題】簡素な機構であり、かつ、低拡張率でフィルムシートを拡張できる低拡張率エキスパンダおよび拡張フィルムシート固定方法を提供する。【解決手段】昇降装置3により上昇する拡張ステージ1がフィルムシート10aを押し上げつつ拡張し、所定の拡張率に到達した場合に真空吸着によりフィルムシート10aを拡張ステージ1に固定する低拡張率エキスパンダおよび拡張フィルムシート固定方法とした。

請求項（抜粋）：

ウェハーリングの円開口に張り渡されたフィルムシートを引き延ばしてフィルムシート上に固着されたダイシング済みのウェハーを複数片のチップに分離するための低拡張率エキスパンダであって、ウェハーリングを保持固定するためのクランプ部と、クランプ部で支持されるウェハーリングのフィルムシートに対しウェハーが載置された面の裏面からフィルムシートを押圧する拡張ステージと、拡張ステージを昇降させる昇降装置と、拡張ステージに設けられる真空吸着部と、を備え、拡張ステージが所定高さに到達したときにフィルムシートの真空吸着を行って、フィルムシートを所定の拡張率を維持することを特徴とする低拡張率エキスパンダ。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/78 W

Fターム (8件)：

5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA13 ,  5F031HA25 ,  5F031HA28 ,  5F031HA58 ,  5F031HA78 ,  5F031MA38

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-078242
  
• ダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-236334   出願人：セイコーエプソン株式会社