特許
J-GLOBAL ID：200903091445510042
圧電素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-192468
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010766
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】 雰囲気温度が変化しても、特性にばらつきが生じにくいセンサを作製するために用いられる圧電素子を得る。【構成】 正3角柱状の振動体12の側面に、圧電素子14a,14b,14cを形成する。圧電素子14a,14b,14cは、それぞれ圧電体16a,16b,16cを含む。圧電体16a,16b,16cの両主面には、網状のメッシュ電極18a,20a,メッシュ電極18b,20bおよびメッシュ電極18c,20cを形成する。そして、メッシュ電極20a,20b,20cを振動体12に接着する。このようにして、圧電素子14a,14b,14cを用いた角速度センサ10を得る。
請求項（抜粋）：
圧電体と、前記圧電体の主面に形成される網状のメッシュ電極とを含む、圧電素子。
IPC (2件)：
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