特許
J-GLOBAL ID：200903091446373847
ウェーハの研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-111145
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302569
出願日： 1993年04月15日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 研磨後に薄くなった大きな径のウェーハであっても、次工程への搬送時にウェーハが破損しないように配慮したウェーハの研磨方法を得る。【構成】 ウェーハを粘着テープを介してフレームに保持する工程と、フレームに保持されたウェーハを研磨装置のチャックテーブルに載置する工程と、このウェーハを研磨する工程と、研磨後のウェーハをフレームを介して次工程に搬送する工程と、から成る。
請求項（抜粋）：
ウェーハを粘着テープを介してフレームに保持する工程と、フレームに保持されたウェーハを研磨装置のチャックテーブルに載置する工程と、このウェーハを研磨する工程と、研磨後のウェーハをフレームを介して次工程に搬送する工程と、からなるウェーハの研磨方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, B24B 1/00
, H01L 21/68
