特許
J-GLOBAL ID：200903091450164748
ステージおよびこれを用いたボール搭載装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
今井 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-007750
公開番号（公開出願番号）：特開2009-170688
出願日： 2008年01月17日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：
【課題】基板を搭載して移送可能なステージであって、基板の上に良好にマスクを重ねることができるステージを提供する。【解決手段】基板を支持する基板支持面41を備えた基板支持台42と、基板支持台42を上下に移動させる第1の駆動機構44と、基板支持面41の周囲に位置する上端面51を備えた、外形が矩形状のフレーム52と、フレーム52を上下に移動させる第2の駆動機構54とを有する。ステージ10の移動先上方に固定された薄板状のマスクの下で第2の駆動機構54によりフレーム52を上方に動かし上端面51がマスクに接したときにマスクを吸引吸着するための複数の第1の吸引孔58が、フレーム52の上端面51の相対する一対の辺に沿って設けられている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板を搭載して移送可能なステージであって、
前記基板を支持する基板支持面を備えた基板支持台と、
前記基板支持台を上下に移動させる第1の駆動機構と、
前記基板支持面の周囲に位置する上端面を備えた、外形が矩形状のフレームと、
前記フレームを上下に移動させる第2の駆動機構とを有し、
当該ステージの移動先上方に固定された薄板状のマスクの下で前記第2の駆動機構により前記フレームを上方に動かし前記上端面が前記マスクに接したときに前記マスクを吸引吸着するための複数の第1の吸引孔が、前記フレームの上端面の相対する一対の辺に沿って設けられている、ステージ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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