特許
J-GLOBAL ID：200903091456125531
カセット、半導体製造装置、カセット搬送装置、及び半導体製造システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-010317
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214495
出願日： 1998年01月22日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造装置による処理又はカセット搬送装置の搬送における工程の省力化、工期短縮、作業者の入力ミスの防止を図るものである。【解決手段】 カセットに関するカセット情報(収納ウエハサイズ、収納可能ウエハ枚数、カセット前面蓋の有無、第1スロット高さ、スロットピッチ、カセット材質、カセットハンドリング位置等のデータ)を格納しているカセット8,12に対応して、半導体製造装置7,11及びカセット搬送装置15は上記カセット情報を認識できる機能を備え、半導体製造装置は上記カセット情報に基づいてカセット蓋の取り付け取り外し、半導体ウエハの移載動作、収納可能ウエハ枚数分の処理を行い、カセット搬送装置はカセットの把持動作の制御、搬送動作の制御、搬送経路の変更を行う。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハを収納するカセットにおいて、前記カセットに関するデータであるカセット情報を格納しているカセットデータ格納部を備え、外部機器から前記カセット情報を認識できるように構成したことを特徴とするカセット。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 T
, H01L 21/68 A
, H01L 21/02 Z
