特許
J-GLOBAL ID：200903091457047224
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058272
公開番号（公開出願番号）：特開平5-266845
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【構成】 イオン源は、蒸気状の金属イオン種が導入されるプラズマ生成室7を形成するプラズマチャンバー4を備えている。そして、このイオン源は、プラズマチャンバー4のプラズマ生成室7に面した内壁面部となるライナー10および発熱部材9を備えている。このライナー10は、発熱部材9によって金属イオン種の蒸発温度以上に昇温されるようになっている。【効果】 プラズマ生成室7に面したライナー10が発熱部材9によって金属イオン種の蒸発温度以上に昇温されているため、プラズマ生成室7に導入された蒸気状の金属イオン種がライナー10に付着して凝固することがない。よって、金属イオン種が汚染物質として作用することを防止できることになる。
請求項（抜粋）：
蒸気状の金属イオン種が導入されるプラズマ生成室を形成するプラズマチャンバーを備えたイオン源であって、上記プラズマチャンバーのプラズマ生成室に面した内壁面部を金属イオン種の蒸発温度以上に昇温させる発熱手段を有していることを特徴とするイオン源。
IPC (4件)：
H01J 37/08
, H01J 27/08
, H05H 1/46
, H05H 7/08
