光導波路およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-107428
公開番号（公開出願番号）：特開2002-303752
出願日： 2001年04月05日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】内部に境界面がなく完全単一層からなり、厚さ方向に滑らかなテーパ形状を持つスポットサイズ変換部を有する光導波路を、微細精度よく簡便に作製する。【解決手段】クラッドと、導波路長手方向に沿って厚さが徐々に変化しているテーパ形状部を持つコアとを有する光導波路の製造方法において、クラッド層上にコア層を形成する工程と、前記コア層の一部を除去してその上面に段差を形成する工程と、前記段差が埋め込まれ上面に段差のない斜面が形成されるように平坦化層を形成する工程と、前記平坦化層をエッチングして前記コア層の厚さが徐々に変化するテーパ形状部を形成する工程を実施する。

請求項（抜粋）：

クラッドと、導波路長手方向に沿って厚さが徐々に変化しているテーパ形状部を持つコアとを有する光導波路の製造方法であって、クラッド層上にコア層を形成する工程と、前記コア層の一部を除去してその上面に段差を形成する工程と、前記段差が埋め込まれ上面に段差のない斜面が形成されるように平坦化層を形成する工程と、前記平坦化層をエッチングして前記コア層の厚さが徐々に変化するテーパ形状部を形成する工程を有する光導波路の製造方法。

IPC (2件)：

G02B 6/13 , G02B 6/122

FI (2件)：

G02B 6/12 M , G02B 6/12 A

Fターム (15件)：

2H047KA04 , 2H047KA13 , 2H047PA00 , 2H047PA02 , 2H047PA03 , 2H047PA04 , 2H047PA05 , 2H047PA21 , 2H047PA24 , 2H047QA01 , 2H047QA02 , 2H047QA04 , 2H047TA00 , 2H047TA01 , 2H047TA41

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭49-097571
光導波路及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-313326 出願人：日本電気株式会社
微細構造の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-305277 出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション

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