特許
J-GLOBAL ID：200903091459149911
球形半導体ホルダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
越場 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-309274
公開番号（公開出願番号）：特開平11-126818
出願日： 1997年10月23日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】移動する複数の球形の基体の表面を連続的に露光する装置を提供する。【解決手段】球形半導体の直径よりも小さな内径を有する環状の当接部をなす第1端部と、球形半導体ホルダに保持された球形半導体の中心と共通の中心を有する球面をなす第2端部とを有する第1管状部材2と、個別に駆動することができる少なくとも3個の超音波アクチュエータ3W、3Eを介して第1管状部材2の第2端部を支持する第2管状部材6と、収縮方向に付勢され、第1管状部材および第2管状部材を相互に近づけるように作用する付勢手段7とを備え、超音波アクチュエータ5W、5Eを個別に動作させることにより、保持した球形半導体1を回転させることができるように構成されている。
請求項（抜粋）：
球形半導体を保持し、且つ、該球形半導体の微小な位置決めを行う球形半導体ホルダであって、該球形半導体の直径よりも小さな内径を有する環状の当接部をなす第1端部と、該球形半導体ホルダに保持された球形半導体の中心と共通の中心を有する球面をなす第2端部とを有する第1管状部材と、個別に駆動することができる少なくとも3個の超音波アクチュエータを介して該第1管状部材の該第2端部を支持する第2管状部材と収縮方向に付勢され、該第1管状部材および第2管状部材を相互に近づけるように作用する付勢手段とを備え、該超音波アクチュエータを個別に動作させることにより、保持した球形半導体を回転させることができるように構成されていることを特徴とする球形半導体ホルダ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 N
, H01L 21/02 B
