特許

J-GLOBAL ID：200903091465149915

ウェーハ回収装置

発明者： 田子 一弘
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-294386
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139411
出願日： 1995年11月13日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】 ウェーハの表面に粉塵等の汚れが付着したり、ウェーハの表面に作業者の手が触れてウェーハの表面が汚れることを防止し、また、ウェーハの収納枚数を多くすることができるウェーハ回収装置を提供する。【解決手段】 装置本体18に水槽12を設け、この水槽12内に収納カセット14を浸漬した。収納カセット14は複数枚のウェーハWを積み重ねた状態に収納するように形成されている。そして、搬送手段16は、スライシングマシンで切断されたウェーハWを収納カセット14まで搬送して、収納カセット14内に積み重ねるようにウェーハWを落とし込む。これにより、収納カセット14内の複数枚のウェーハWは水中に浸漬された状態で回収される。

請求項（抜粋）：

スライシングマシンでインゴットから切断されたウェーハを回収するウェーハ回収装置に於いて、装置本体に設けられた水槽と、該水槽内に浸漬され、複数枚の前記ウェーハを積み重ねた状態に収納する収納カセットと、前記スライシングマシンで切断された前記ウェーハを前記収納カセットまで搬送し、前記収納カセット内に積み重ねるように前記ウェーハを落とし込む搬送手段と、を備えたことを特徴とするウェーハ回収装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B28D 5/02 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304 311 ,  B65H 29/32

FI (5件)：

H01L 21/68 A ,  B28D 5/02 G ,  B65G 49/07 G ,  H01L 21/304 311 A ,  B65H 29/32 B