特許
J-GLOBAL ID：200903091467612981
クライオスタット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-182666
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029582
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 サンプル交換が容易なクライオスタットに関し、サンプル交換が容易なガス冷却型クライオスタットを提供することを目的とする。【構成】 第1サンプル導入口を有する真空容器と、前記真空容器中に配置され、前記第1サンプル導入口と対応して配置された第2サンプル導入口を有し、冷却ガスを流すことのできるサンプル室と、外部より前記真空容器を貫通して前記サンプル室に通じるサンプル導入路を形成するように、前記真空容器の第1サンプル導入口と前記サンプル室の第2サンプル導入口とを気密に接続する導入路部材と、前記第1サンプル導入口を気密に封止できるフランジを有し、サンプルを前記サンプル室内に保持することのできるサンプルヘッドと、前記サンプル室内に冷却ガスを供給、回収するためのガスラインとを有する。
請求項（抜粋）：
第1サンプル導入口を有する真空容器(1)と、前記真空容器中に配置され、前記第1サンプル導入口と対応して配置された第2サンプル導入口を有し、冷却ガスを流すことのできるサンプル室(2)と、外部より前記真空容器を貫通して前記サンプル室に通じるサンプル導入路を形成するように、前記真空容器の第1サンプル導入口と前記サンプル室の第2サンプル導入口とを気密に接続する導入路部材(3)と、前記第1サンプル導入口を気密に封止できるフランジを有し、サンプルを前記サンプル室内に保持することのできるサンプルヘッド(4)と、前記サンプル室内に冷却ガスを供給、回収するためのガスライン(6)とを有するクライオスタット。
IPC (2件)：
H01L 39/04 ZAA
, F25D 3/10
