特許
J-GLOBAL ID：200903091470071622
位置ずれ計測方法及びそれを用いた計測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-339344
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159124
出願日： 1993年12月03日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】回折格子対を利用して該回折格子対の位置ずれを求める装置において、該回折格子対の回転に伴う誤差をハ-ド的に補正し、広いダイナミックレンジで高精度に計測することのできる位置ずれ計測方法及びそれを用いた計測装置を得ること。【構成】回折格子対を利用して該回折格子対の位置ずれを求める装置において、位置ずれ量なしの回折格子対を参照格子対として配置し、該参照格子対の計測値が0となるように計測系を較正した後に、計測対象となる回折格子対の計測を行うこと。
請求項（抜粋）：
位置ずれ計測マーク対を利用して位置ずれ量を計測する際、位置ずれ量なしの第1の位置ずれ計測マーク対を参照マーク対として計測対象となる第2の位置ずれ計測マーク対に対して配置し、該第1の参照マーク対の計測値が0となるように計測系を較正した後、前記計測対象となる第2の位置ずれ計測マーク対の計測を行う際、前記第1,第2の位置ずれ計測マーク対が回折格子対であり、該回折格子対に対して可干渉光を照射し、光ヘテロダイン干渉をさせてビート信号を発生させており、前記第1の位置ずれ量なしの回折格子対から発生する第1及び第2のビート信号の位相差を位相検波器により検出し、該位相差を0なるように較正した後、前記第2の位置ずれ計測マーク対である回折格子対を計測することを特徴とする位置ずれ計測方法。
IPC (2件)：
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