特許

J-GLOBAL ID：200903091473337682

薄膜トランジスタアレイ基板の検査方法及びレスキュー方法

発明者： 森田 幸弘
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-096461
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294579
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】 不良薄膜トランジスタを検出し、不良基板を後行程に流すのを防ぎ、ロスを少なくする。また、不良薄膜トランジスタのレスキューを行うことにより歩留まりを向上させること目的とする。【解決手段】 互いに隣接する走査線もしくは、走査線と共通容量線に電圧を印加した状態で、信号線に周期的に変化する信号を印加して、赤外線画像を撮影する。その画像を信号線に電圧を印加しない状態で撮影した赤外線画像と比較して、不良薄膜トランジスタを検出することによりロスを少なくし、コストを削減することができる。また、基板裏面からレーザ光を照射することにより不良薄膜トランジスタのレスキューを行うことにより歩留まりを向上させることができる。

請求項（抜粋）：

走査線及び共通線に電圧を印加した状態で、周期的に変化する信号を信号線に印加して薄膜トランジスタアレイ基板の赤外線画像を撮影し、電圧を印加していない状態で撮影した赤外線画像と比較することにより不良トランジスタを検出することを特徴とする薄膜トランジスタアレイ基板検査方法。

IPC (5件)：

G01M 11/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/66 ,  H01L 29/786

FI (7件)：

G01M 11/00 T ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 S ,  H01L 29/78 624 ,  H01L 29/78 612 A

Fターム (33件)：

2G086EE10 ,  2H088JA13 ,  2H088MA20 ,  2H092GA29 ,  2H092JA25 ,  2H092JA46 ,  2H092KA05 ,  2H092MA29 ,  2H092MA30 ,  2H092NA29 ,  2H092QA10 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AA04 ,  4M106AA20 ,  4M106BA08 ,  4M106BA14 ,  4M106CA16 ,  4M106CA39 ,  4M106CA70 ,  4M106DB02 ,  4M106DB04 ,  4M106DH02 ,  4M106DH07 ,  4M106DJ38 ,  5F110AA24 ,  5F110AA27 ,  5F110BB01 ,  5F110DD02 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73