研磨装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-172421
公開番号（公開出願番号）：特開2002-361546
出願日： 2001年06月07日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】本発明は自由曲面を有する光学素子等のプラスチック成形金型等を高精度に研磨加工する研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置1は、加重軸7の先端部に取り付けられた弾性球体工具3を被加工物Pに押し付ける加重機構部4を、少なくとも1つの空気圧シリンダ8を有したものとし、加重軸7を、静圧軸受6で加重軸7の軸方向に案内しつつ軸方向に移動させ、回転スピンドル5で弾性球体工具3を回転させて、スラリー中に分散された研磨砥粒を介して研磨加工する。したがって、駆動系の摩擦を大幅に低減することができ、研磨ヘッド2の応答特性を向上させて、研磨精度を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

弾性球体工具を被加工物に押し付ける加重手段と、前記弾性球体工具を回転させる回転手段と、有する研磨ヘッドを備え、前記弾性球体工具を被加工物に押し付けつつ回転して、スラリー中に分散された研磨砥粒を介して研磨加工する研磨装置であって、前記加重手段は、少なくとも1つの空気圧シリンダを有し、当該空気圧シリンダは、その先端部に前記弾性球体工具の取り付けられた加重軸を静圧軸受で当該加重軸の軸方向に案内しつつ当該軸方向に移動させることを特徴とする研磨装置。

IPC (6件)：

B24B 13/00 , B24B 37/00 , B24B 37/04 , B24B 41/04 , B24B 47/14 , B24B 49/10

FI (6件)：

B24B 13/00 A , B24B 37/00 B , B24B 37/04 G , B24B 41/04 , B24B 47/14 , B24B 49/10

Fターム (18件)：

3C034AA13 , 3C034AA19 , 3C034BB01 , 3C034BB14 , 3C034BB32 , 3C049AA09 , 3C049AC04 , 3C049BA05 , 3C049CA01 , 3C049CA03 , 3C058AA07 , 3C058AA12 , 3C058BA01 , 3C058BA05 , 3C058BA07 , 3C058BB04 , 3C058BC02 , 3C058CB01

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