特許
J-GLOBAL ID：200903091480624530
エッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-000721
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204187
出願日： 1993年01月06日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、モリブデン合金薄膜を高速度でエッチングできるようにしたエッチング方法を提供することにある。【構成】 モリブデン合金薄膜9が設置されたエッチングチャンバ1内にプラズマ状態に励起されたエッチング用反応性ガスを導入し、上記モリブデン合金薄膜をエッチングする方法において、上記エッチング用反応性ガスは弗素系ガス、酸素および塩素系ガスの混合ガスとするとともに、上記モリブデン合金薄膜を所定範温度に加熱保持することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
モリブデン合金薄膜が設置されたエッチングチャンバ内にプラズマ状態に励起されたエッチング用反応性ガスを導入し、上記モリブデン合金薄膜をエッチングする方法において、上記エッチング用反応性ガスは弗素系ガス、酸素および塩素系ガスの混合ガスとするとともに、上記モリブデン合金薄膜を所定温度に加熱保持することを特徴とするエッチング方法。
IPC (3件)：
H01L 21/302
, C23F 4/00
, H05H 1/46
