グリッド型偏光子の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-250727
公開番号（公開出願番号）：特開平9-090122
出願日： 1995年09月28日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】微細なピッチ、線幅の金属格子となるグリッド型偏光子とする。【解決手段】SiO2 基板1上にピッチpを1μm、線幅wを0.1μmでAu格子2を形成し、Au格子2の上方からSiO2 膜5を形成し、Au格子2の直線方向と平行な方向Aに加熱延伸する。

請求項（抜粋）：

誘電体中または誘電体表面上に金属が格子状に分布する構造のグリッド型偏光子において、2つの誘電体の間に金属を格子状に介在させて一体化させた後、上記金属格子の直線方向に全体を加熱延伸または圧延して製造されることを特徴とするグリッド型偏光子の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

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