特許

J-GLOBAL ID：200903091488151011

グロスリーク検査方法

発明者： 小林 哲也 ,  小野 位
出願人/特許権者： ミツミ電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-282959
公開番号（公開出願番号）：特開平11-108792
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、微小容量モジュールの封止雰囲気の漏洩を確実且つ簡単に検査できるようにするグロスリーク検査方法を提供する。【解決手段】 圧電振動子を内蔵し、封止雰囲気を包蔵して気密封止されたモジュール(2)を2種類の暴露雰囲気に載置し、前記2種類の各暴露雰囲気における前記モジュールの動作特性を直接測定して、前記封止雰囲気の漏洩の有無を判定する。

請求項（抜粋）：

圧電振動子を内蔵し、封止雰囲気を包蔵して気密封止されたモジュールを2種類の暴露雰囲気に載置し、前記2種類の各暴露雰囲気における前記モジュールの動作特性を直接測定して、前記封止雰囲気の漏洩の有無を判定することを特徴とするグロスリーク検査方法。

IPC (3件)：

G01M 3/32 ,  G01M 3/04 ,  H03H 3/02

FI (3件)：

G01M 3/32 A ,  G01M 3/04 S ,  H03H 3/02 B