視覚欠陥検査方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：和田成則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-165852
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014554
出願日： 1997年06月23日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】欠陥部位と正常部位との輝度差が僅かである淡欠陥の検査を高精度で行うことができ、しかも欠陥の形状、輝度パターンが変わっても同一のロジックで検査を行うことができる視覚欠陥検査方法および装置を提供する。【解決手段】視覚カメラで被検査物を撮像することにより得られた画像を画像データとして画像入力装置(11)から入力して画像記憶装置(12)に記憶し、一方、欠陥基準画像記憶装置(14)に記憶された複数の欠陥基準画像の中から被検査物に対応した所望の欠陥基準画像を基準画像切り替え装置(15)で選択切り替え、正規化相関演算処理装置(13)は、この基準画像切り替え装置(15)で選択切り替えされた欠陥基準画像に基づき上記画像記憶装置(12)に記憶された画像情報に対して正規化相関演算処理を施すことにより淡欠陥強調処理を行う。

請求項（抜粋）：

視覚カメラで被検査物を撮像することにより得られた画像情報に基づき該被検査物の欠陥を検査する視覚欠陥検査方法において、上記視覚カメラで被検査物を撮像することにより得られた画像情報に対して予め準備した所定の欠陥基準画像を参照して正規化相関処理を行い、該正規化相関処理結果から上記被検査物の欠陥を検査することを特徴とする視覚欠陥検査方法。

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